随着人们生活质量的上升，人们对生产质量的要求越来越严格。电子无尘车间静电的控制可分为两类：高湿度实际上减少了无尘车间和洁净室表面静电的积累，是理想的作用。较低的湿度适合电荷积聚和潜在的破坏性静电释放源。
           当相对湿度大于50%时，静电荷开始消散，但当相对湿度小于30%时，静电荷可以在绝缘体或不接地表面上长期存在。
           相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折衷方案。电子无尘车间和洁净室一般采用附加的控制装置来控制静电的积聚。随着相对湿度的增加，包括腐蚀过程在内的许多化学反应的速率都会增加。电子无尘车间和洁净室周围暴露在空气中的表面都覆盖至少一层水。当这些表面由能与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度会加速反应。幸运的是，一些金属，如铝，可以与水形成保护性氧化层，以免进一步氧化；但另一种情况，如氧化铜，不具有保护性，因此铜表面在高湿度环境中容易受到腐蚀。
           电子无尘车间的温湿度控制主要是由于其生产工艺的要求：
           在电子工业中，制造车间是产生静电的重要场所。通常情况下，静电会导致产品短路，导致工作人员导电晕厥事故。因此，电子工业无尘车间的相对湿度不应小于30%，可以减少静电的产生。电子厂无尘车间无要求，温度控制在22℃左右，相对湿度控制在55%-60%相对湿度。在这种环境中，人们感到舒服，静电消失了。